闸电极结构之修整的控制方法

摘要

一种包含具有第一尺寸之闸电极层的闸电极结构之修整所用的控制方法及及处理工具。该方法系藉由决定闸电极结构之第一尺寸；选择一目标修整尺寸；将第一尺寸及目标修整尺寸前馈至制程模型，以建立一制程参数组；在闸电极结构上进行修整制程，包括控制制程参数组、修整闸电极结构、及测量闸电极结构之修整尺寸来完成。可重复修整制程至少一次，直至获得目标修整尺寸为止，其中可将修整尺寸回馈至制程模型，以建立一新的制程参数组。