制程反应室之除尘装置

摘要

一种制程反应室之除尘装置，此制程反应室系具有一加热板。本发明之除尘装置包括一集尘舱，一负压管路。集尘舱系设于加热板上方，具有至少一集尘口以及一排气口。负压管路系与集尘舱之排气口相连接。当除尘装置在进行清洁时，藉由负压管路所产生之吸力：将脏污微粒由集尘舱之集尘口吸入，并经由排气口和负压管路排至制程反应室外。