监视及控制离子束能量分布之方法及装置

摘要

本发明系揭示一种监视离子束能量分布之方法及装置，于离子束所行经路径上，藉由在一具有一开孔的导电板上施加不同电压产生不同电场，控制离子束通过该开孔，并检测通过的离子束所产生之电流，藉此所得到之施加电压与离子束电流间的关系即反映该离子束的能量分布，进一步可依据前述所检测出电压与电流间之关系调整离子束之参数，再重复实施监视及调整步骤，直到所得之离子束能量分布如所期望为止，而可使离子束能量纯度／精确度提高。