PURIFICADOR DE GAS BASADO EN GETTER, SU UTILIZACION EN UN SISTEMA DE FABRICACION DE SEMICONDUCTORES Y METODO PARA LA FABRICACION DE UN DISPOSITIVO DE CIRCUITO INTEGRADO Y METODO DE PROTECCION DE UNA COLUMNA GETTER.

摘要

Purificador de gas (2) basado en getter, que comprende: - una columna getter (10) que tiene un recipiente metálico (12) con una entrada (14), una salida (16) y un tabique de retención (18) que se extiende entre dicha entrada (14) y dicha salida (16), poseyendo dicho recipiente (12) material getter (30) dispuesto en su interior; - una primera válvula de aislamiento (42) en comunicación de fluido con dicha entrada (14) de dicho recipiente (12); - una válvula de ventilación (48) en comunicación de flujo con dicha entrada (14) del recipiente (12); - una segunda válvula de aislamiento (44) en comunicación de fluido con dicha salida (16) del recipiente (12); - un primer sensor de temperatura (34) dispuesto en la parte superior de dicho material getter (30).