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发明名称
WAFER CASSETTE STORAGE ASSEMBLY AND METHOD FOR POSITIONING THE CASSETTE
摘要
申请公布号
KR100536768(B1)
申请公布日期
2005.12.16
申请号
KR19997012556
申请日期
1999.12.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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