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发明名称 A METHOD FOR CLEANING A CERAMIC MEMBER FOR USE IN A SYSTEM FOR PRODUCING SEMICONDUCTORS, A CLEANING AGENT AND A COMBINATION OF CLEANING AGENTS
摘要
申请公布号 KR100536449(B1) 申请公布日期 2005.12.16
申请号 KR20020065144 申请日期 2002.10.24
申请人 发明人
分类号 B08B7/00;H01L21/304;B08B3/08;B08B3/12;C11D7/20;C11D7/26;C11D11/00;H01L21/00;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
主权项
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