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发明名称 Method for forming magnesium diborate film using atomic layer deposition process
摘要
申请公布号 KR100537192(B1) 申请公布日期 2005.12.16
申请号 KR20020086615 申请日期 2002.12.30
申请人 发明人
分类号 H01L39/12;(IPC1-7):H01L39/12 主分类号 H01L39/12
代理机构 代理人
主权项
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