SILICON AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME

摘要

Verfahren zur Herstellung von Silizium, das als Ausgangsstoff zur Herstellung einer Siliziumschmelze für die Fertigung von Siliziumblöcken oder Siliziumkristallen geeignet ist, umfassend die folgenden Schritte: Einbrin­gen eines Gasgemisches aus Monosilan und Wasserstoff in einen Reaktor, thermisches Zersetzen des Gasgemisches unter Bildung von Siliziumpul­ver, Abtrennen des entstandenen Siliziumpulvers von dem Gasgemisch, und mechanisches Verdichten des abgetrennten Siliziumpulvers.