发明名称 |
Halbleiter-Bauteil mit Gräben |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69534584(D1) |
申请公布日期 |
2005.12.15 |
申请号 |
DE1995634584 |
申请日期 |
1995.08.03 |
申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI |
发明人 |
MASAKATSU TSUCHIAKI, |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/265;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8242;H01L21/8244;H01L27/108;H01L27/11;H01L27/118;(IPC1-7):H01L21/762;H01L27/02 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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