Halbleiterwaferprüfgerät und Sondenübertragungseinrichtung

摘要

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Halbleiterwaferprüfgerät und eine Sondenübertragungseinrichtung, umfassend eine Basisplatte, auf der eine Befestigungseinheit mit Dämpfung und eine Fühlübertragungseinheit angeordnet und befestigt sind, wobei eine Sondekarte in der Fühlübertragungseinheit so angeordnet ist, daß die Sondekarte zur Prüfung der Qualifikation des Halbleiterwafers in Kontakt mit dem Halbleiterwafer gebracht ist. Durch die Eigenschaft der Dämpfung und der begrenzten Schiebung von der Befestigungseinheit mit Dämpfung und die genaue und stabile Fühldetektionsleistung von der Fühlübertragungseinheit ist die genaue und schnelle Prüfung der Qualifikation des Halbleiterwafers erreicht. Zusätzlich sind die Wartung und die Reparatur einfach und zeitsparsam.