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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VERTIKALER HOHLNADELN AUS EINEM HALBLEITERSUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE60114764(D1) 申请公布日期 2005.12.15
申请号 DE20016014764 申请日期 2001.01.02
申请人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA, OAKLAND 发明人 LIEPMANN, DORIAN;STOEBER, BORIS
分类号 B81C1/00;A61M5/158;A61M5/32;A61M37/00;B81B1/00;H01L21/66;(IPC1-7):A61M37/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
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