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发明名称
METHOD OF FORMING TRENCH ISOLATION LAYER
摘要
申请公布号
KR20050118087(A)
申请公布日期
2005.12.15
申请号
KR20040094758
申请日期
2004.11.18
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
CHA, YONG WON;NA, KYU TAE;CHOI, YONG SOON;HONG, EUN KEE;GOO, JU SEON
分类号
H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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