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发明名称 PROBE TESTING STRUCTURE
摘要 A calibration structure for probing devices.
申请公布号 WO2005043176(A3) 申请公布日期 2005.12.15
申请号 WO2004US30545 申请日期 2004.09.15
申请人 CASCADE MICROTECH, INC. 发明人 LESHER, TIMOTHY, E.
分类号 G01R;G01R1/067;G01R27/02;G01R27/04;G01R29/26;G01R31/02;G01R33/12;G01R35/00;H01L23/58;H01L29/80;H01L31/112;H01P1/00;H01P1/16;H01P3/08 主分类号 G01R
代理机构 代理人
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