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发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BEHANDELN, LAGERN UND BESCHICKEN VON TRÄGERN FÜR SCHEIBENFÖRMIGE GEGENSTÄNDE
摘要
申请公布号 DE50108008(D1) 申请公布日期 2005.12.15
申请号 DE2001508008 申请日期 2001.04.18
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES SC300 GMBH & CO. KG 发明人 LERING, MICHAEL;MISSALE, REINER;PEITER, MARTIN
分类号 B08B7/00;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
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