| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER EINHEIT MIT EINER RÄUMLICHEN OBERFLÄCHENSTRUKTURIERUNG SOWIE VERWENDUNG DIESES VERFAHRENS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT310263(T) |
申请公布日期 |
2005.12.15 |
| 申请号 |
AT20030749830T |
申请日期 |
2003.05.07 |
| 申请人 |
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发明人 |
GRABHER, PATRICK;HEINE-KEMPKENS, CLAUS;BISCHOFBERGER, ROGER |
| 分类号 |
G03F7/00;G03F7/40;G03F7/42;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00;G02B7/00 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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