发明名称 OPEN-HOLE BASED DIFFRACTIVE OPTICAL MODULATOR
摘要
申请公布号 KR20050118105(A) 申请公布日期 2005.12.15
申请号 KR20050000907 申请日期 2005.01.05
申请人 SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD. 发明人 YUN, SANG KYEONG
分类号 B81B3/00;G02B5/18;G02B26/00;G02B26/08;H01L41/08;H01L41/09;(IPC1-7):G02B26/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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