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发明名称 ZUSAMMENSETZUNG UND VERFAHREN ZUM CHEMISCH- MECHANISCHEN POLIEREN
摘要
申请公布号 AT312895(T) 申请公布日期 2005.12.15
申请号 AT19970933430T 申请日期 1997.07.21
申请人 DUPONT AIR PRODUCTS NANOMATERIALS L.L.C. 发明人 SMALL, ROBERT, J.;MCGHEE, LAURENCE;MALONEY, DAVID, JOHN;PETERSON, MARIA, LOUISE
分类号 C09G1/02;C09K13/00;C09K13/06;C23F1/00;C23F3/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/321;H01L21/461;H01L21/4763;H01L21/8238;(IPC1-7):C09K13/00;C11D3/30;C11D3/26;C11D1/66;C23G1/14;C23G1/02 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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