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发明名称 Vorrichtung und Verfahren für Oberflächeninspektionen
摘要
申请公布号 DE69832225(D1) 申请公布日期 2005.12.15
申请号 DE19986032225 申请日期 1998.02.05
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 NAKAJO, MASAHIRO;TATSUTA, KEN
分类号 G01B11/24;G01B11/245;G01N21/88;G01N21/956;H05K13/08;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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