发明名称 FLÜSSIGKEITSKREISLAUF FÜR EINE WASCHFLÜSSIGKEIT ZUR NEUTRALISATION UND ABSCHEIDUNG
摘要
申请公布号 AT309854(T) 申请公布日期 2005.12.15
申请号 AT19990105976T 申请日期 1999.03.25
申请人 DAS-DUENNSCHICHT ANLAGEN SYSTEME GMBH DRESDEN;VSS- UMWELTTECHNIK GMBH;K- KUNSTSTOFFSYSTEMS GMBH 发明人 REICHARDT, HORST, DR.;GEHMLICH, KONRAD;HOFMANN, GEROLD;WIESENBERG, WIDO;MERFORTH, EGBERT;FIRKERT, GUENTER;WILDE, MICHAEL;RITTER, TILMANN;VOSEN, MICHAEL;ROOS, CHRISTOPH
分类号 B01D53/74;B01D53/78;B01J19/24;(IPC1-7):B01D53/78;B01D53/68 主分类号 B01D53/74
代理机构 代理人
主权项
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