申请人 |
DAS-DUENNSCHICHT ANLAGEN SYSTEME GMBH DRESDEN;VSS- UMWELTTECHNIK GMBH;K- KUNSTSTOFFSYSTEMS GMBH |
发明人 |
REICHARDT, HORST, DR.;GEHMLICH, KONRAD;HOFMANN, GEROLD;WIESENBERG, WIDO;MERFORTH, EGBERT;FIRKERT, GUENTER;WILDE, MICHAEL;RITTER, TILMANN;VOSEN, MICHAEL;ROOS, CHRISTOPH |