METHOD AND DEVICE FOR TESTING A WIRE BOND CONNECTION

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur insbesondere zerstörungsfreien Prüfung einer Drahtbondverbindung (7), bei dem nach der Herstellung einer Bondverbindung (7) mittels eines Ultraschallwerkzeuges (1) zwischen einem Draht (3) und einem Substrat/Bondpad (4) eine Prüfkraft (5) an den Draht (3) angelegt wird, bei dem die Prüfkraft (5) durch das Ultraschallwerkzeug (1) aufgebracht wird. Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung zum Herstellen einer Drahtbondverbindung (7) zwischen einem Draht (3) und einem Substrat (4) mittels eines Ultraschallwerkzeuges (1) bei der mittels des Ultraschallwerkzeuges (1) eine Prüfkraft (5) an den Draht (3) /die Bondverbindung (4) anlegbar ist, insbesondere wobei die Prüfkraft (5) quer zur Drahtrichtung ausgerichtet ist.