发明名称 | 抗粘连射频微机械开关 | ||
摘要 | 本发明公开了一种抗粘连射频微机械开关,包括衬底,在衬底上设有共平面波导,共平面波导由共平面波导信号线和共平面波导地平面组成,在共平面波导的上方设有固支梁,固支梁通过桥墩和高频阻抗线与共平面波导地平面连接,在位于固支梁下方的共平面波导信号线上设有绝缘层,在固支梁的下方的衬底上设有凸起,该凸起位于共平面波导信号线旁。本发明在衬底上设置凸起,而凸起对固支梁的作用,对固支梁与绝缘层粘连的发生起到了阻止作用,使本发明具有抗粘连功能,从而延长了本发明的使用寿命。 | ||
申请公布号 | CN1231991C | 申请公布日期 | 2005.12.14 |
申请号 | CN02138591.2 | 申请日期 | 2002.11.14 |
申请人 | 东南大学 | 发明人 | 黄庆安;郑惟彬;李拂晓 |
分类号 | H01P1/10;H01P3/08 | 主分类号 | H01P1/10 |
代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王之梓 |
主权项 | 1、一种抗粘连射频微机械开关,包括衬底(1),在衬底(1)上设有共平面波导,共平面波导由共平面波导信号线(41)和共平面波导地平面(42)组成,在共平面波导的上方设有固支梁(7),固支梁(7)通过桥墩(2)和高频阻抗线(5)与共平面波导地平面(42)连接,在位于固支梁(7)下方的共平面波导信号线(41)上设有绝缘层(3),其特征在于在固支梁(1)的下方的衬底(1)上设有凸起(6),该凸起(6)位于共平面波导信号线(41)旁,凸起(6)高于绝缘层(3)。 | ||
地址 | 210096江苏省南京市四牌楼2号 |