发明名称 抗粘连射频微机械开关
摘要 本发明公开了一种抗粘连射频微机械开关,包括衬底,在衬底上设有共平面波导,共平面波导由共平面波导信号线和共平面波导地平面组成,在共平面波导的上方设有固支梁,固支梁通过桥墩和高频阻抗线与共平面波导地平面连接,在位于固支梁下方的共平面波导信号线上设有绝缘层,在固支梁的下方的衬底上设有凸起,该凸起位于共平面波导信号线旁。本发明在衬底上设置凸起,而凸起对固支梁的作用,对固支梁与绝缘层粘连的发生起到了阻止作用,使本发明具有抗粘连功能,从而延长了本发明的使用寿命。
申请公布号 CN1231991C 申请公布日期 2005.12.14
申请号 CN02138591.2 申请日期 2002.11.14
申请人 东南大学 发明人 黄庆安;郑惟彬;李拂晓
分类号 H01P1/10;H01P3/08 主分类号 H01P1/10
代理机构 南京经纬专利商标代理有限公司 代理人 王之梓
主权项 1、一种抗粘连射频微机械开关,包括衬底(1),在衬底(1)上设有共平面波导,共平面波导由共平面波导信号线(41)和共平面波导地平面(42)组成,在共平面波导的上方设有固支梁(7),固支梁(7)通过桥墩(2)和高频阻抗线(5)与共平面波导地平面(42)连接,在位于固支梁(7)下方的共平面波导信号线(41)上设有绝缘层(3),其特征在于在固支梁(1)的下方的衬底(1)上设有凸起(6),该凸起(6)位于共平面波导信号线(41)旁,凸起(6)高于绝缘层(3)。
地址 210096江苏省南京市四牌楼2号