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发明名称 An apparatus for fabricating a semiconductor device and a method for fabricating a polysilicon film using the same
摘要
申请公布号 EP0902459(B1) 申请公布日期 2005.12.14
申请号 EP19970307010 申请日期 1997.09.10
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, YOUNG-WOOK;YOO, CHA-YOUNG;KIM, YOUNG-SUN;NAM, SEUNG-HEE
分类号 H01L21/00;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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