结晶膜以及利用激光制造结晶膜的方法

摘要

提供一个表面上具有由非晶态材料制成的薄膜的工件。向该薄膜施加脉冲激光束，该脉冲激光束在沿该薄膜的表面上沿一个方向具有细长形光束截面，通过该脉冲激光束，该薄膜被熔融，之后使该薄膜凝固。在第一带状区域内连续形成沿光束截面的长轴方向排成链的晶粒，该第一带状区域沿光束入射区域的长轴方向延伸，并处在光束入射区域中位于其中心线与沿长轴方向延伸的光束入射区域的边界之间的区域中，且与所述边界和中心线隔开一定距离。

主权项

1.一种多晶膜制造方法，包括以下步骤：(a)制备一个表面上具有由非晶态材料制成的薄膜的工件；(b)向该薄膜施加脉冲激光束，以将该薄膜熔融，该脉冲激光束在该薄膜表面上沿一个方向具有细长形光束截面，之后使该薄膜凝固，以在沿光束入射区域的长轴方向延伸的第一带状区域内形成晶粒，该第一带状区域位于光束入射区域中处于其中心线与沿长轴方向延伸的光束入射区域的边界之间的区域中，且与所述边界和中心线隔开一段距离，该晶粒沿长轴方向排成链。