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发明名称 Method for reducing the substrate dependence of resist
摘要
申请公布号 EP0875787(B1) 申请公布日期 2005.12.14
申请号 EP19980107461 申请日期 1998.04.23
申请人 WAKO PURE CHEMICAL INDUSTRIES, LTD. 发明人 FUJIE, HIROTOSHI;SOUKI, TOHRU;UEHARA, YUKIKO
分类号 G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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