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经营范围
发明名称
Turbomolecular pump
摘要
申请公布号
EP0967395(B1)
申请公布日期
2005.12.14
申请号
EP19990304965
申请日期
1999.06.23
申请人
BOC EDWARDS JAPAN LIMITED
发明人
KABASAWA, TAKASHI
分类号
F04D19/04;F04D29/54;(IPC1-7):F04D19/04
主分类号
F04D19/04
代理机构
代理人
主权项
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