用于分析板结构的曲率和应力信息的系统和方法

摘要

用于确定层状的或者渐变的结构(1710)的大形变的接受，包括均匀分布在结构(p)上的如重力，静电的或者电磁力，和其它力的体积力，支撑力，和集中力(P)的作用。还公开了实时应力监视系统(1700)以在大形变分析方法的基础上提供器件的现场监视。例如可以在这种系统中包括相干梯度传感模块(1730)。

主权项

1.一种用于分析板结构的曲率和应力信息的方法，其包括：提供板结构以代表一个器件；使用第一随空间变化的函数，该函数在所述板结构的平面中是均匀的并沿垂直于所述平面的方向变化，以表示作用在所述器件上影响所述器件曲率演变的体积力；使用第二随空间变化的函数，该函数在所述平面中是均匀的并沿垂直于该平面的方向和随着所述器件温度而变化，以表示所述器件中热应力的作用；使用所述平面内位置的非线性函数，分别表示所述器件在所述平面内两个主方向的位移，和垂直于所述平面的第三个主方向上的位移，以包括大形变的作用；基于所述第一和第二随空间变化函数和位移的非线性函数，计算所述器件的总势能；和沿所述平面内的所述两个主方向，分别相对主曲率和轴向拉伸，最小化所述总势能，以获得在引起所述器件曲率演变的有效力和沿所述两个主方向的主曲率之间的分析性关系。