| 发明名称 | 流量传感器 | ||
| 摘要 | 流量传感器(1)包括：基板(4)，它有侧向面对测量目标流体(2)所用通道(3)的前表面(4a)，以及通道形成部件(5)和平板(6)，它们在基板(4)两侧相对设置。用厚度约为50μm到150μm的不锈钢将基板(4)制成薄板状。在基板(4)的表面(4b)上形成电绝缘膜，所述基板与通道(3)侧向相对。所述电绝缘膜上形成测量流体(2)的流速(流率)用的温度检测传感器(7)、环境温度传感器(8)、电极垫片(9)和配线用的金属薄膜(10)。 | ||
| 申请公布号 | CN1231745C | 申请公布日期 | 2005.12.14 |
| 申请号 | CN01819360.9 | 申请日期 | 2001.10.17 |
| 申请人 | 株式会社山武 | 发明人 | 上运天昭司;石仓义之;池信一;衣笠静一郎;田中秀一 |
| 分类号 | G01F1/692;G01P5/12 | 主分类号 | G01F1/692 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 陈瑞丰 |
| 主权项 | 1.一种流量传感器，其特征在于，包括：薄板状的基板，它形成部分流体通道；以及包含发热体的温度检测装置，所述发热体设在与该基板的通道的相对侧，并通过薄膜形成工艺形成；分别设在基板相对两侧的通道形成部件和平板；所述平板的材质是导热率、热阻、刚性高的材料。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||