发明名称 |
电容耦合大气压辉光放电等离子体发生装置 |
摘要 |
本发明涉及一种电容耦合大气压辉光放电等离子体发生装置。其特征是,该装置由电源、串联耦合电容或同时串联耦合电容、电阻、电感的电极、电源和电极之间稳定和控制放电的匹配网络、电极间工作介质(气体、液体或气液两相介质)组成。在电源作用下,电极间工作介质中发生放电,在匹配网络和耦合电容或耦合电容与串联电阻、电感的调节下,产生大气压辉光放电等离子体。本发明的效果和益处是,可以用于等离子体物理及化学领域,例如材料处理及制备、有害气体净化及臭氧发生器、消毒、放电光源、飞行器隐身等技术领域。 |
申请公布号 |
CN1708204A |
申请公布日期 |
2005.12.14 |
申请号 |
CN200510046209.2 |
申请日期 |
2005.04.06 |
申请人 |
大连理工大学 |
发明人 |
马腾才;张禹涛;任春生;齐兵;王达望;尹美强;王坤 |
分类号 |
H05H1/24 |
主分类号 |
H05H1/24 |
代理机构 |
大连理工大学专利中心 |
代理人 |
侯明远 |
主权项 |
1.一种电容耦合大气压辉光放电等离子体发生装置,其特征是,电极(5)、电极(6)同电源之间分别串联耦合电容(3)或同时串联耦合电容(3)、电阻、电感;电源(1)和电极(5)、电极(6)之间设有匹配网络(2);高压电源(1)采用直流电源、工频交流电源、高频交流电源、脉冲电源、直流叠加交流或直流叠加脉冲电源;电极(5)、电极(6)采用金属电极或电极间有绝缘介质或催化剂。 |
地址 |
116024辽宁省大连市甘井子区凌工路2号 |