曝光装置的制造方法,光源单元、曝光装置、曝光方法以及曝光装置的调整方法

摘要

在使用者的现有设备下对于采用水银灯等光源的曝光装置，可以有固体光源的使用。使用含有聚光光学系统的照明光学系统而照明一罩幕，将该罩幕的图案转印到感光性基板的曝光装置的制造方法，包括将多个固体光源配置在该聚光光学系统的前侧焦点位置或是与其光学共轭的位置的固体光源配置步骤(S11)，以及对应于与该些固体光源不同的光源被设定成适当的第1状态的该照明光学系统的特性，藉由该些固体光源的配置，而设定成适当的第2状态的特性(S12～S16)。

主权项

1、一种曝光装置的制造方法，其对于使用含一聚光光学系统的一照明光学系统以照明一罩幕，将该罩幕的图案转印到一感光性基板，该曝光装置的制造方法包括：一固体光源配置步骤，将多个固体光源配置在该聚光光学系统的一前侧焦点位置或是与其光学共轭的一位置；以及一调整步骤，对应于与该些固体光源不同的光源被设定成适当的第1状态的该照明光学系统的特性，藉由该些固体光源的配置，而设定成适当的第2状态的特性。