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发明名称 SYSTEM, METHOD AND APPARATUS FOR IMPROVED GLOBAL DUAL-DAMASCENE PLANARIZATION
摘要
申请公布号 EP1604393(A2) 申请公布日期 2005.12.14
申请号 EP20040719313 申请日期 2004.03.10
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 LOHOKARE, SHRIKANT, P.;BAILEY, ANDREW, D., III;HEMKER, DAVID;COOK, JOEL, M.
分类号 B44C1/22;H01L;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/311;H01L21/321;H01L21/3213;H01L21/4763;H01L21/768;H01L33/00;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 B44C1/22
代理机构 代理人
主权项
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