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发明名称 Polishing method
摘要
申请公布号 EP1602444(A3) 申请公布日期 2005.12.14
申请号 EP20050018524 申请日期 2001.01.29
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 发明人 KIUCHI, ETSUO;HAYASHI, TOSHIYUKI
分类号 B24B37/015;B24B37/04;B24B37/12;B24B37/14;B24B37/30;B24B41/04;B24B41/06;B24B49/14;B24B55/02;B24B57/02;(IPC1-7):B24B37/04;B24B37/00 主分类号 B24B37/015
代理机构 代理人
主权项
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