一种真空吸盘

摘要

本实用新型一种真空吸盘属于真空吸盘领域，适用于吸附很薄的硬脆材料。真空吸盘由吸盘底板和多孔陶瓷上板组成，真空吸盘采用分体式结构，陶瓷密封环装在多孔陶瓷上板的外圈，两者之间用环氧树脂粘牢，安放在吸盘底板上面；在吸盘底板的上平面外圈安装有金属吸盘上环，用螺钉将金属吸盘上环固定在吸盘底板上；金属吸盘上环和陶瓷密封环与吸盘底板相接触的径向部分采用粘合剂粘牢。本实用新型降低了加工难度，寿命长，特别适用于吸附半导体硅片材料。

主权项

1.一种真空吸盘由吸盘底板[2]和多孔陶瓷上板[3]组成，其特征是，真空吸盘采用分体式结构，陶瓷密封环[4]装在多孔陶瓷上板[3]的外圈，两者之间用环氧树脂[6]粘牢，安放在吸盘底板[2]上面；在吸盘底板[2]的上平面外圈安装有金属吸盘上环[1]，用螺钉[5]将金属吸盘上环[1]固定在吸盘底板[2]上；金属吸盘上环[1]和陶瓷密封环[4]与吸盘底板[2]相接触的径向部分采用粘合剂[7]粘牢；在吸盘底板[2]的中间开有一个小孔[A]，吸盘底板[2]的上平面上开有多个环形沟槽[B]和辐射状的径向沟槽[C]。