| 发明名称 |
ANGLED IMPLANT FOR TRENCH ISOLATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1604403(A2) |
申请公布日期 |
2005.12.14 |
| 申请号 |
EP20040720384 |
申请日期 |
2004.03.12 |
| 申请人 |
MICRON TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
RHODES, HOWARD, E.;MOULI, CHANDRA |
| 分类号 |
H01L;H01L21/00;H01L21/265;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/768;H01L27/146;H01L31/062;(IPC1-7):H01L27/146 |
主分类号 |
H01L |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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