一种使用电桥电路测试集成电路内部电容的方法

摘要

本发明为一种使用电桥电路测试集成电路内部电容的方法。具体是在测试通道输入输出之间接入一个电桥电路，先在电桥输入端给予一个信号，电桥一端空载，利用电桥的平衡确定电桥的初始状态；然后通过测试两个事先知道容值的高精度电容拟合出电桥输出端电压和电容之间的关系曲线；最后通过该关系曲线求得待测电容的值。本发明方法测试精度高，测试速度快，测试电路简单。

主权项

1、一种使用电桥电路测试集成电路内部电容的方法，其特征在于将一个电桥电路连接在测试通道之间，并且在电桥电路(1)和测试通道TCH的输入输出端之间分别接有一个滤波器(2)和一个差分放大电路(3)；桥式电路(1)的一侧并联接入可调电容C，另一侧并联接入待测电容CX；先在电桥的输入端给予一信号，电桥一端空载，利用电桥平衡确定电桥的初始状态；然后通过测试两个事先知道容值的高精度电容来拟合出电桥输出端电压和电容之间关系曲线；最后通过该关系曲线求得待测试电容的值。