用于基于事件的测试系统的扫描矢量支持

摘要

一基于事件的测试系统，能生成用于测试扫描设计的半导体设备的扫描矢量而不要求大容量的扫描存储器。该测试系统包括一事件存储器，用于存储各个事件的定时数据和事件类型数据，其中定时数据是由用于定义一测试矢量的许多(log₂N)数据位来表示的、一事件生成器，用于使用事件存储器中的时间数据和事件类型数据生成事件，以及提供在事件存储器和事件生成器之间的模式改变电路，用于改变在用于生成测试矢量的标准模式与扫描模式之间的信号通道，所述扫描模式通过当事件存储器中的事件类型数据表示一预定字时检测该扫描模式生成扫描矢量。在该测试系统中，许多(log₂N)数据位的每一位定义2^N个扫描矢量，以及2^N个数据位以串行方式提供给事件生成器，由此在事件存储器的每个入口产生2^N个扫描矢量。

主权项

1、在一半导体测试系统中，用于生成用于半导体设备的标准测试的测试矢量和用于半导体设备的扫描测试的扫描矢量的一装置，包括：一事件存储器，用于存储各个事件的时间数据和事件类型数据，其中当前事件的时间数据是并行使用N个数据位由自一预定参考点的一延迟时间来表示，由此定义一个测试矢量；其中，该N个数据位被分成两组时间数据，一组用于定义整数倍参考时钟，另一组用于定义分数倍参考时钟；其中利用n个数据位来表示该事件类型数据，n小于N；一事件生成器，用于使用事件存储器中的时间数据和事件类型数据生成一事件，其中每个事件被用作一测试矢量或一扫描矢量；以及一模式改变电路，提供在事件存储器和事件生成器之间，用于改变在用于生成测试矢量的一标准模式和用于生成扫描矢量的一扫描模式之间的信号通道；其中该事件存储器中的事件类型数据指定测试矢量的每个事件的事件类型，包括驱动高事件类型和驱动低事件类型，该事件类型数据还通过一个预定字指定该扫描模式，其中该模式改变电路当事件存储器中的事件类型数据指示该预定字时检测该扫描模式；及其中，在事件存储器的N个数据位中的每一位定义每个扫描矢量，从该事件存储器并行读出的该N个数据位由所述模式改变电路转换成串行形式，并被提供给该事件生成器，由此在该事件存储器的每个入口产生2N个扫描矢量。