| 发明名称 | 载物台装置和图像测量装置 | ||
| 摘要 | 一种载物台装置，它具有：放置玻璃(210)，在其上表面上具有大致平面的载物面(211)，在该载物面(211)上放置有规定工件(W)；面状的面发光体(220)，它设置在放置玻璃(210)的下表面的大致整面上，透过放置玻璃(210)而对工件(W)进行透射照明；支承部(300)，它支承面发光体(220)下表面侧的多个点，并通过分别调整所支承各点的高度而调整载物面(211)的平面度。 | ||
| 申请公布号 | CN1707248A | 申请公布日期 | 2005.12.14 |
| 申请号 | CN200510076671.7 | 申请日期 | 2005.06.13 |
| 申请人 | 株式会社三丰 | 发明人 | 上山修一;西辻丰 |
| 分类号 | G01N21/84;G01N21/01;G02B21/06;G01B9/00;G01B11/00 | 主分类号 | G01N21/84 |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 韩登营 |
| 主权项 | 1.一种载物台装置，其特征在于，具有：透光性板材，在其上表面上具有大致为平面的载物面，在该载物面上放置规定工件；面状的面发光体，其设置在上述透光性板材的下表面的大致整个表面上，透过上述透光性板材对上述工件进行透射照明；平面度调整构件，它支承上述面发光体下表面侧的多个点，并通过分别调整所支承各点的高度而调整上述载物面的平面度。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||