发明名称 METHOD FOR TRANSFER CONTROLLNG OF A SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR100536040(B1) 申请公布日期 2005.12.12
申请号 KR19990050692 申请日期 1999.11.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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