CLEAN UP PROCEDURE OF ION IMPLANTER,申请号KR20040041319-传众专利搜索

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发明名称	CLEAN UP PROCEDURE OF ION IMPLANTER
摘要
申请公布号	KR20050116428(A)	申请公布日期	2005.12.12
申请号	KR20040041319	申请日期	2004.06.07
申请人	DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC.	发明人	KIM, SANG BEOM
分类号	H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265	主分类号	H01L21/265
代理机构		代理人
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