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发明名称 APPARATUS FOR SENSING A WAFER AND APPARATUS FOR INSPECTING A WAFER
摘要
申请公布号 KR20050116211(A) 申请公布日期 2005.12.12
申请号 KR20040041273 申请日期 2004.06.07
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, SUNG HO;CHUN, TAE SEUNG;KANG, HO SEONG;BAE, JONG HO
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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