发明名称 导线布局结构
摘要 一种导线布局结构,适于作为一晶片之导线布局结构,其中晶片具有一接合垫区与相邻之一元件区,且晶片更包括一基板。此导线布局结构主要系由多个导线层、多个介电层以及多个插塞所构成。这些导线层系依序重叠于基板之上。这些介电层系分别配置于二相邻之导线层之间。这些插塞系分别贯穿介电层,而电性连接这些导线层。并且,这些导线层之最远离基板者系形成多个接合垫于接合垫区,而靠近元件区的这些接合垫会在元件区经由最远离基板之导线层,来跨越至少一非讯号控制之导线层,再以上述插塞电性连接至较靠近基板之导线层。此导线布局结构可避免电源/接地导线与讯号导线相互交错。
申请公布号 TWI245390 申请公布日期 2005.12.11
申请号 TW092133284 申请日期 2003.11.27
申请人 威盛电子股份有限公司 发明人 张棋
分类号 H01L23/48 主分类号 H01L23/48
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 1.一种导线布局结构,适于作为一晶片之导线布局结构,其中该晶片具有一接合垫区与相邻之一元件区,且该晶片更包括一基板,该导线布局结构至少包括:多数个导线层,依序重叠于该基板之上;多数个介电层,分别配置于二相邻之该些导线层之间;以及多数个插塞,分别贯穿该些介电层而电性连接该些导线层,其中该些导线层之最远离该基板者于该接合垫区系形成多数个接合垫,且靠近该元件区的该些接合垫会在该元件区经由最远离该基板之导线层来跨越至少一非讯号控制之导线层,再以该些插塞电性连接至较靠近该基板之该些导线层。2.如申请专利范围第1项所述之导线布局结构,其中靠近该元件区的该些接合垫包括多数个讯号接合垫。3.如申请专利范围第1项所述之导线布局结构,其中远离该元件区的该些接合垫包括多数个非讯号接合垫。4.如申请专利范围第3项所述之导线布局结构,其中最远离该元件区的接合垫包括一接地接合垫。5.如申请专利范围第3项所述之导线布局结构,其中次远离该元件区的接合垫包括一电源接合垫。6.如申请专利范围第1项所述之导线布局结构,其中该些导线层包括一第一至第N导线层9N系大于2的自然数,而该第一至第N导线层系依序配置于该基板之上,且该第N导线层之置于该元件区的部分系直接电性连接至最靠近该元件区的该些接合垫。7.如申请专利范围第6项所述之导线布局结构,其中最远离该元件区的该些接合垫包括接地接合垫,并直接电性连接至该第N-2导线层。8.如申请专利范围第6项所述之导线布局结构,其中次远离该元件区的该些接合垫包括电源接合垫,并直接电性连接至该第N-1导线层。9.如申请专利范围第6项所述之导线布局结构,其中次靠近该元件区的该些接合垫系藉由该第N-1导线层而电性连接至该第N导线层之位于该元件区的部分。图式简单说明:第1图绘示为习知一种应用于晶片之导线布局结构的局部俯视示意图。第2图绘示为第1图沿Ⅰ-Ⅰ'线的剖面示意图。第3图绘示为第2图沿Ⅱ-Ⅱ'线的剖面示意图。第4图绘示为本发明较佳实施例之一种导线布局结构应用于晶片的局部俯视示意图。第5图绘示为第4图沿Ⅲ-Ⅲ'线的剖面示意图。第6图绘示为第4图沿Ⅳ-Ⅳ'线的剖面示意图。
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