Halterung für optische Elemente

摘要

Die Erfindung betrifft eine Halterung für optische Elemente und Verfahren zur Herstellung eines optischen Systems mit einer solchen Halterung. Sie kann besonders vorteilhaft in Verbindung mit optischen Elementen eingesetzt werden, die für elektromagnetische Strahlung mit sehr kleinen Wellenlängen eingesetzt werden. Gemäß der gestellten Aufgabe soll eine dauerhafte Justiergenauigkeit mit entsprechend fixierten optischen Elementen erreicht werden können. Bei der erfindungsgemäßen Halterung sind an einem Träger drei Halteelemente vorhanden, mit denen das jeweilige optische Element befestigt ist. Die drei Halteelemente weisen jeweils zwei Festkörpergelenke auf, wobei eines der Festkörpergelenke eine Bewegung in einem Freiheitsgrad und das jeweils andere Festkörpergelenk auch Bewegungen in weiteren Freiheitsgraden ermöglichen. Die Halteelemente sind stoffschlüssig an einer Fläche mit dem optischen Element verbunden. Bei der Erfindung können auch weitere optische Elemente an einer solchen Halterung befestigt werden.