发明名称 Verfahren zum Herstellen eines Metallkontakt-Teils
摘要
申请公布号 DE19853617(B4) 申请公布日期 2005.12.08
申请号 DE19981053617 申请日期 1998.11.20
申请人 MOSEL VITELIC INC., HSINCHU;PROMOS TECHNOLOGIES, INC.;SIEMENS AG 发明人 TSAI, NIEN-YU;CHANG, HONG-LONG;CHEN, CHUN-WEI;KUNG, MING-LI
分类号 H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/283 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址