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Gegenstand der vorliegenden Erfindung sind ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur optischen Abtastung einer Probe (1). Zum grundsätzlichen Aufbau gehören wenigstens eine Verstelleinheit (2, 3) sowie zumindest eine Abtasteinrichtung (4, 5). Die Probe (1) wird mittels der von einer Steueranlage (6) beaufschlagten Verstelleinheit (2, 3) gegenüber der Abtasteinrichtung (4, 5) bewegt oder umgekehrt. Erfindungsgemäß werden zum mechanischen Spielausgleich Korrekturwerte aufgenommen sowie in der Steueranlage (6) abgelegt und beim Stellvorgang berücksichtigt.
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