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发明名称 Plasmabearbeitungs-Verfahren und -Gerät
摘要
申请公布号 DE69828104(T2) 申请公布日期 2005.12.08
申请号 DE19986028104T 申请日期 1998.05.20
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 MORIYAMA, KOICHIRO;AOTA, YUKITO;KANAI, MASAHIRO;OTOSHI, HIROKAZU
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32;H01L31/20 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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