| 发明名称 | 具有光学和涡流监视的集成结束点检测系统 | ||
| 摘要 | 一种化学机械抛光设备(20)和方法，其可使用涡流监视系统(40)和光学监视系统(140)。来自监视系统的信号可以在输出线上组合并被计算机提取。可以计算抛光垫(30)的厚度。涡流监视系统(40)和光学监视系统(140)可测量衬底上的基本上相同的位置。 | ||
| 申请公布号 | CN1230279C | 申请公布日期 | 2005.12.07 |
| 申请号 | CN02809135.3 | 申请日期 | 2002.05.02 |
| 申请人 | 应用材料有限公司 | 发明人 | B·A·什韦代克;M·比朗哥;N·约翰逊 |
| 分类号 | B24B37/04;B24B49/02;B24B49/10;B24B49/12 | 主分类号 | B24B37/04 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵蓉民 |
| 主权项 | 1、一种用于化学机械抛光的设备，包括：支撑抛光表面的台板；设置在台板中以便产生第一信号的涡流监视系统；设置在台板中以便产生第二信号的光学监视系统；在台板中的电路，其将来自涡流监视系统的第一信号和来自光学监视系统的第二信号合并成输出线上的第三信号；和用于接收输出线上的第三信号并提取第一和第二信号的计算机。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||