用于深紫外线的光刻胶组合物及其方法

摘要

本发明涉及一种化学放大体系，它对300nm和100nm之间的波长敏感，并包含a)一种不溶于碱性水溶液且包含至少一个酸不稳定基团的聚合物，b)一种能够在辐射时生产酸的化合物。本发明包含一种由脂环族烃烯烃，具有侧环状部分的丙烯酸酯，和环状酸酐制成的聚合物。本发明还涉及一种用于成像这种光刻胶的方法。

主权项

1.光刻胶组合物，包括成分a)和b)的混合物，其中成分a)是聚(马来酸酐-共聚-叔丁基5-降冰片烯-2-羧酸酯-共聚-2-羟基乙基5-降冰片烯-2-羧酸酯-共聚-5-降冰片烯-2-羧酸-共聚-甲基丙烯酸-2-甲基金刚烷基酯-共聚-甲羟戊酸甲基丙烯酸酯)，且成分b)是一种光酸生成剂。