| 发明名称 |
OPTICAL DEVICE AND INSPECTION MODULE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1602001(A1) |
申请公布日期 |
2005.12.07 |
| 申请号 |
EP20040709181 |
申请日期 |
2004.02.09 |
| 申请人 |
ISMECA SEMICONDUCTOR HOLDING SA |
发明人 |
SALVI, ALDO |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/956;G02B17/04;G02B17/08;G02B27/14;(IPC1-7):G02B17/04;G01N21/88;H05K13/00 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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