发明名称 |
Memory wordline hard mask extension |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2409573(B) |
申请公布日期 |
2005.12.07 |
申请号 |
GB20040019978 |
申请日期 |
2003.01.21 |
申请人 |
* SPANSION LLC |
发明人 |
TAZRIEN * KAMAL;MINH VAN * NGO;MARK T * RAMSBEY;JEFFREY A. * SHIELDS;JEAN Y * YANG;EMMANUIL * LINGUNIS;HIDEHIKO * SHIRAIWA |
分类号 |
H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L23/52 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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