发明名称 Memory wordline hard mask extension
摘要
申请公布号 GB2409573(B) 申请公布日期 2005.12.07
申请号 GB20040019978 申请日期 2003.01.21
申请人 * SPANSION LLC 发明人 TAZRIEN * KAMAL;MINH VAN * NGO;MARK T * RAMSBEY;JEFFREY A. * SHIELDS;JEAN Y * YANG;EMMANUIL * LINGUNIS;HIDEHIKO * SHIRAIWA
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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