| 发明名称 | 正型抗蚀剂组合物以及其中使用的化合物 | ||
| 摘要 | 一种正型抗蚀剂组合物，其含有具有酸离解性溶解抑制基并且在酸的作用下碱溶性增大的树脂成分(A)、通过曝光产生酸的酸发生剂(B)和用下述通式(1)表示的化合物(C)。(式中，R<SUB>1</SUB>和R<SUB>3</SUB>分别独立地表示氢原子、碳原子数1－3的烷基、或者碳原子数4－6的环烷基，n是1－3的整数，R<SUB>1</SUB>和R<SUB>3</SUB>的至少一个是碳原子数4－6的环烷基。R<SUB>2</SUB>表示碳原子数1－3的烷基，X表示碳原子数4或者5的亚烷基)。 | ||
| 申请公布号 | CN1704846A | 申请公布日期 | 2005.12.07 |
| 申请号 | CN200510074388.0 | 申请日期 | 2005.05.26 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 新田和行 |
| 分类号 | G03F7/039 | 主分类号 | G03F7/039 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 朱丹 |
| 主权项 | 1.一种正型抗蚀剂组合物，其含有具有酸离解性溶解抑制基并且在酸的作用下碱溶性增大的树脂成分(A)、通过曝光产生酸的酸发生剂(B)和用下述通式(1)表示的化合物(C)，<img file="A2005100743880002C1.GIF" wi="1777" he="725" />式中，R<sub>1</sub>和R<sub>3</sub>分别独立地表示氢原子、碳原子数为1-3的烷基、或者碳原子数为4-6的环烷基，n是1-3的整数，R<sub>1</sub>和R<sub>3</sub>中至少一个是碳原子数为4-6的环烷基；R<sub>2</sub>表示碳原子数为1-3的烷基，X表示碳原子数为4或者5的亚烷基。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||