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发明名称 Plasma processing apparatus
摘要
申请公布号 GB2387964(B) 申请公布日期 2005.12.07
申请号 GB20030009001 申请日期 2003.04.22
申请人 * TRIKON HOLDINGS LIMITED 发明人 NICHOLAS JOHN * APPLEYARD
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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